Genel Özellikler:
ETG TA 4500 EIMS serisi, amonyak (NH3), hidrojen klorür (HCL), hidrojen gibi kirleticilerin varlığını aşırı hassasiyetle (ppb seviyesi) izlemenin mümkün olduğu EIMS teknolojisini kullanan ilk ETG ürünüdür. ortam havasında florür (HF), asitler, NOx, Cl2, aseton, VOC ve diğerleri.
Hava kalitesi analizi
Çok yüksek çözünürlük sayesinde, ortam havasındaki zararlı bileşiklerin varlığını izlemek için ETG TA 4500 EIMS'yi kullanmak mümkündür.
Temiz odalar için kirletici bileşikler analizi
Çok hızlı tepki süresi, yüksek doğruluk ve sürekli izleme, ETG TA 4500 EIMS'yi temiz odaları kontrol altında tutmak için ideal cihaz haline getirir. Özel alarmlar kurma imkanı sayesinde, bu analizör, üretimin yalnızca uygun koşullar altında çalışmasını sağlayarak kontaminasyon hurdasını en aza indirmeye yardımcı olabilir.