ETG TA 4500 EIMS serisi, amonyak (NH3), hidrojen klorür (HCL), hidrojen gibi kirleticilerin varlığını aşırı hassasiyetle (ppb seviyesi) izlemenin mümkün olduğu EIMS teknolojisini kullanan ilk ETG ürünüdür. ortam havasında florür (HF), asitler, NOx, Cl2, aseton, VOC ve diğerleri.
Hava kalitesi analizi
Çok yüksek çözünürlük sayesinde, ortam havasındaki zararlı bileşiklerin varlığını izlemek için ETG TA 4500 EIMS'yi kullanmak mümkündür.
Temiz odalar için kirletici bileşikler analizi
Çok hızlı tepki süresi, yüksek doğruluk ve sürekli izleme, ETG TA 4500 EIMS'yi temiz odaları kontrol altında tutmak için ideal cihaz haline getirir. Özel alarmlar kurma imkanı sayesinde, bu analizör, üretimin yalnızca uygun koşullar altında çalışmasını sağlayarak kontaminasyon hurdasını en aza indirmeye yardımcı olabilir.
Hava kalitesi analizi
Çok yüksek çözünürlük sayesinde, ortam havasındaki zararlı bileşiklerin varlığını izlemek için ETG TA 4500 EIMS'yi kullanmak mümkündür.
Temiz odalar için kirletici bileşikler analizi
Çok hızlı tepki süresi, yüksek doğruluk ve sürekli izleme, ETG TA 4500 EIMS'yi temiz odaları kontrol altında tutmak için ideal cihaz haline getirir. Özel alarmlar kurma imkanı sayesinde, bu analizör, üretimin yalnızca uygun koşullar altında çalışmasını sağlayarak kontaminasyon hurdasını en aza indirmeye yardımcı olabilir.
| Montaj | 19” Kremayer Montaj* |
| Araçlar | Kuru Basınçlı Hava |
| Uzunluk maksimum hortum | 130 mt |
| Dopant | Ayara bağlı |
| Polarite | Pozitif/Negatif |
| İyonlaşma | Pozitif/Negatif |
| İletişim | LAN, ModBus, ProfiBus |
| N° Numune | 1-16-30-45 |
| Güç | 110-230 VAC 50/60 [Hz] |
| Çözme Gücü | 40 - 80 FWHM |
| Çalışma Sıcaklığı | 5 - 45 [°C] |
| Tepki Süresi | < 10 saniye |
| Numune Basıncı | 0,6 - 1,1 [bar] |
| Numune Sıcaklığı | 30 - 120 [°C] |
| Numune Akışı | 2 - 500 [ml/min] |
| Aralıklar | 0 - 50 / 0 - 100 [ppb] |
| Duyarlılık | [ppt] - [ppb] |
| Sapma Gaz Akışı | 0,5 - 1,3 [ml/min] |
| Sapma Gaz Kalitesi | Temiz Kuru Hava |
| Sapma Hızı | 200 - 560 [V/em] |
•Çok bileşenli gaz analizörü
•Temiz odalar ortam havası izleme
•Ortam hava kalitesi izleme
•Temiz odalar ortam havası izleme
•Ortam hava kalitesi izleme